隧道防水板随着隧道板气相沉积技术被广泛用于制备各种功能性薄膜材料，材料的气-固相变也日益显示出其重要性。气-固相变虽与液-固相变有诸多相似性，但其蒸发和凝聚的控制，转变产物的结构和形态均有自身的特点。本节围绕气相沉积中的气-固相变，讨论材料饱和蒸气压与温度的关系，气相沉积中两个基本过程，蒸发和凝聚(沉积)的热力学条件，凝聚过程中的形核与生长。
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