隧道防火板蒸发源加热温度的高低,会改变蒸气压的数值而直接影响到镀膜材料的蒸发速率和蒸发方式,蒸发温度过低时,材料蒸发速率低,薄膜生长速率也低,而过高的蒸发温度,不仅会导致蒸发速率过高,而且使蒸发原子相互碰撞,甚至因蒸发材料内气体迅速膨胀而形成蒸发原子飞溅。
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